SEMI規格

SEMI規格とは、半導体製造機器メーカー、FPD製造装置メーカー、材料メーカーなどの国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）がFPDを含む半導体産業の国際工業規格の統一を目的に定めた規格です。SEMI Sシリーズは、半導体やFPDの製造装置システムに対する環境、健康、安全（Environmental Health and Safety：EHS）について定められた 「安全ガイドライン（Safety Guidelines）」であり、S1～S29（日本語の場合）の規格書に分かれています。

環境、健康、安全に関わるガイドライン

SEMI S2は、安全インタロックシステム、緊急シャットダウン、電気設計、防火、人間工学、危険エネルギーの切離し、地震保護、環境への配慮、化学物質、レーザ、その他のさまざまな面での安全性能を定義しています。また、マニュアルや警告ラベルについても言及しています。SEMI Sシリーズでは、まずS2が参照すべき核となるガイドラインとなります。

警告ラベルに関わるガイドライン

SEMI S1は、装置に関連する危険を人に警告する安全ラベルの内容やフォーマットなどを定義しています。他のISO/IEC規格やANSI規格と異なる点は、警告ラベルに固有の識別子（例えば型番）を印刷すべきと定義していることです。これは、交換用の警告ラベルを装置メーカーから発注することを容易にするためだとしています。

取扱説明書に関するガイドライン

SEMI S13は、装置の操作、保守、および設置に関するリスクを低減するため、取扱説明書に記述すべき事項について定義しています。また、装置ユーザーへの提供文書を、装置の操作、保守、サービス、設置、汚染除去、ディコミッショニングの担当者が読むべきであるということも意図されています。

当社では、SEMI S1やS13を基に、警告ラベルや取扱説明書の適合評価を行っています。詳しくは当社までお問い合わせください。

ここまで、警告ラベルについて見てきましたが、ラベルには、警告ラベル以外にもレーザラベル、GHS対応ラベルなど、規格で定められている特殊なラベルがあります。
第13回と第14回では、「レーザラベル・GHS対応ラベル」やその他の安全ラベルについて説明します。